इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगात धातूच्या टंगस्टनच्या रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) प्रक्रियेसाठी WF6 मुख्यतः कच्चा माल म्हणून वापरला जातो. WF6 पासून बनवलेला WSi2 मोठ्या प्रमाणात एकात्मिक सर्किट्स (LSI) मध्ये वायरिंग मटेरियल म्हणून वापरला जाऊ शकतो आणि सेमीकंडक्टर इलेक्ट्रोड्स, रासायनिक घटकांसाठी फ्लोरिन कच्चा माल, पॉलिमरायझेशन उत्प्रेरक, ऑप्टिकल मटेरियल इत्यादींसाठी कच्चा माल म्हणून देखील वापरला जाऊ शकतो.